אָיל-פאָטאָוואַווע
פּרינציפּן
די OIL-PHOTOWAVE סיסטעם ניצט אַ הויך-גיכקייַט ימאַגינג טעכנאָלאָגיע צו ינטעלידזשאַנטלי כאַפּן די פאָרעם פון פּאַרטיקאַלז וואָס פלאָוינג דורך די לויפן צעל.דורך די ינטעליגענט טריינינג אַלגערידאַם, די מאָרפאַלאַדזשיקאַל קעראַקטעריסטיקס פון די טראָגן פּאַרטיקאַלז (אַזאַ ווי עקוויוואַלענט דיאַמעטער, מאָרפאַלאַדזשיקאַל פאַקטאָר און פּאָסל פאַרהעלטעניש) זענען באקומען, און די פּאַרטיקאַלז זענען אויטאָמאַטיש קלאַסאַפייד און גערעכנט צו באַשטימען די הויפּט טראָגן פאָרעם אָדער קאַנטאַמאַניישאַן מקור און באַשטימען די קאַנטאַמאַניישאַן מיינונג. פון די ייל, לייכט אַססעסס מאַשינערי געזונט אין בלויז מינוט.
ספּעסאַפאַקיישאַנז
| ITEM | פּאַראַמעטערס | |
| 1 | טעסט מעטאָד | הויך גיכקייַט ימידזשינג |
| 2 | טעכניק | ינטעליגענט בילד דערקענונג |
| 3 | פּיקסעל גרייס | 1280 × 1024 |
| 4 | האַכלאָטע | 2 um |
| 5 | אָפּטיש מאַגנאַפאַקיישאַן | ×4 |
| 6 | פּאַרטאַקאַל פאָרעם מינימום דיטעקשאַן שיעור | 10 um |
| 7 | פּאַרטאַקאַל גרייס מינימום דיטעקשאַן שיעור | 2 um |
| 8 | קלאַסאַפאַקיישאַן פון טראָגן פּאַרטיקאַלז | קאַטינג, סליידינג, מידקייַט און ניט-מעטאַלליק |
| 9 | קאַנטאַמאַניישאַן מיינונג | GJB420B, ISO4406, NAS1638 |
| 10 | פאַנגקשאַנז | טראָגן פּאַרטאַקאַל און קאַנטאַמאַניישאַן מיינונג אַנאַליסיס; מויסטשער, וויסקאָסיטי, טעמפּעראַטור, דיעלעקטריק קעסיידערדיק אַנאַליסיס מאַדזשולז פֿאַר אָפּציעס |
| 11 | טעסטינג צייט | 3-5 מינוט |
| 12 | מוסטער באַנד | 20 מל |
| 13 | פּאַרטיקאַלז קייט | 2-500 um |
| 14 | מוסטערונג מאָדע | 8 וואַל פּעריסטאַלטיק פּאָמפּע |
| 15 | געבויט-אין קאָמפּיוטער | 12.1 אינטש IPC |
| 16 | דימענשאַנז (ה × וו × ד) | 438 מם × 452 מם × 366 מם |
| 17 | קראַפט | אַק 220±10% 50הז 200וו |
| 18 | ענוויראָנמענטאַל אַפּערייטינג רעקווירעמענץ | 5°C~+40°C, <(95±3)%רה |
| 19 | סטאָרידזש טעמפּעראַטור (°C) | -40°C ~ +65°C |
טיפּיש אַפּלאַקיישאַן
שיף, עלעקטריש מאַכט, ינזשעניעריע מאַשינערי, ינדאַסטרי מאַנופאַקטורינג, ייווייישאַן, באַן
שליסל פֿעיִקייטן
